9、分子束外延系統
此芯片生產設備功能：分子束外延系統，提供在沉底表面按特定生長薄膜的工藝設備；分子束外延工藝，是一種制備單晶薄膜的技術，它是在適當的襯底與合適的條件下，沿襯底材料晶軸方向逐層生長薄膜。
主要企業品牌：
國際：美國veeco公司、美國公司、美國nbm公司、法國riber公司、芬蘭公司、德國omi公司、德國公司、英國公司。
國內：沈陽中科儀器、北京匯德信科技有限公司、紹興匡泰儀器設備有限公司、沈陽科友真空技術有限公司。
10、氧化爐>
設備功能：提供要求的氧化氛圍，實現半導體預期設計的氧化處理過程，為半導體材料進行氧化處理，是半導體加工過程的不可缺少的一個環節。
主要企業品牌：
國際：英國公司、德國公司。
國內：青島福潤德、北京七星華創、中國電子科技集團第四十八所、青島旭光儀表設備有限公司、中國電子科技集團第四十五所。
11、低壓化學氣相淀積系統
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